Seawal tahun 1738, saintis Switzerland Daniel Bernoulli mengukur aliran air menggunakan kaedah tekanan pembezaan berdasarkan persamaan Bernoulli yang pertama. Kemudian, saintis Itali GB Venturi mengkaji penggunaan tiub Venturi untuk mengukur aliran dan menerbitkan hasilnya pada tahun 1791.
Pada tahun 1886, American Herschel membangunkan tiub Venturi menjadi alat pengukur praktikal untuk aliran air.
Dari awal hingga pertengahan abad ke-20, prinsip pengukuran asal beransur-ansur matang, dan orang ramai tidak lagi menghadkan pemikiran mereka kepada kaedah sedia ada tetapi memulakan penerokaan baharu.
Pada tahun 1930-an, kaedah untuk mengukur halaju aliran cecair dan gas menggunakan gelombang bunyi muncul. Walaupun kaedah untuk mengukur aliran menggunakan gelombang bunyi telah diterokai, mereka tidak membuat kemajuan yang ketara sehingga Perang Dunia II. Sehingga tahun 1955 meter aliran Maxson, menggunakan kaedah peredaran akustik, telah diperkenalkan untuk mengukur kadar aliran bahan api penerbangan.
Dari tahun 1960-an dan seterusnya, alat pengukur mula berkembang ke arah ketepatan dan pengecilan.
Dengan perkembangan pesat teknologi litar bersepadu, meter aliran ultrasonik dengan fasa-teknologi gelung terkunci telah digunakan secara meluas. Aplikasi meluas mikrokomputer telah meningkatkan lagi keupayaan pengukuran aliran. Sebagai contoh, halaju Doppler laser boleh memproses isyarat yang lebih kompleks selepas dilengkapi dengan mikrokomputer.